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Dans l’atelier de séchage, il n’est pas toujours possible de prévoir l’apparition des problèmes. Un léger déséquilibre dans l’uniformité thermique...

Sur le plancher de fabrication, une dérive de la température de séchage des wafers se détecte rapidement—directement dans le profil du photorésist....

Sur la ligne d’affichage flexible, la cuisson du photoresist n’est pas une étape annexe. C’est un point de contrôle clé pour le rendement. Un...