lampe PVD (dépôt physique en phase vapeur)

Fri, 05 Jun 2026 04:21:01 +0800

Sur le sol de fabrication, les temps d’arrêt imprévus ne nécessitent pas d’autopsie : vous les voyez dans les wafers perdus et les fenêtres de spécifications que vous venez de manquer. Lorsqu’une lampe de chambre PVD tombe en panne, l’ensemble du budget thermique pour le cycle est dans le rouge. Nous avons conçu cette lampe PVD pour éviter cela, et elle fonctionne 24/7 sans faire de compromis.

Ce qui compte, techniquement

Cette lampe offre une réponse thermique rapide et une uniformité stricte sur la cible, de sorte que la température reste dans une plage de ±0,1 °C pendant les étapes critiques de cuisson. Le profil infrarouge à ondes courtes atteint rapidement la température, réduisant le retard thermique et vous permettant de régler les profils de cuisson douce et dure du photo-résist selon vos besoins.
Les matériaux compatibles avec la salle blanche et une construction scellée maintiennent la génération de particules à zéro, ce qui la rend confortable dans des environnements de classe 1 à 100. Le design de filament longue durée et l’enveloppe en quartz robuste prolongent les intervalles de service à des dizaines de milliers d’heures, avec un dérive de sortie inférieure à 5 % après 5 000 heures.

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Ce qui compte, techniquement