בחדר הייצור, שינויים בטמפרטורה אינם דבר שניתן לקבל – זו בעיה חמורה. אפילו שינוי של מעט מעלה אחד עלול לפגוע בתכונות הפוטורזיסט. ואם תהליך הייצור אינו אחיד? זה יגרום לעיוותים ולירידה באיכות המוצר. טכנולוגיית CSP ברמת הוואפר יכולה לעבוד רק כשיש שליטה אפקטיבית בטמפרטורה, והיא חייבת להישאר בטווח של פחות ממעלה אחת בכל שלב.
זה מה שחשוב באמת. ייצרנו את החיממן ברמת הוואפר עם גלי אינפרא-אדום באורך גל קצר, שמותאמים לרמת הספיגה של הפוטורזיסט והחומרים הדיאלקטריים. האנרגיה נכנסת ישירות לחומר, במהירות, כשיש כמות מינימלית של חום שנקלטת בחומר הבסיס. באזור הפעיל, האחידות נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרתיות נשמרת בטווח של 0.2°C במשך 24 שעות.
המערכת מתאימה לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והיא מעוצבת כך שלא ייווצרו חלקיקים – חומרים עם פליטה נמוכה, חלונות קוורץ אטומים, ומערכת אוורור שמונעת זיהום בתהליך הייצור. כל שלבי החימום נעשים באמצעות אותו מנוע חימום – חימום אחיד, ללא צורך באימות חוזר.
למה זה חשוב בייצור? זמן הייצור קוצר, מכיוון שתהליך החימום מהיר ואין עיכובים. גם צריכת האנרגיה יורדת – אנו מחממים רק את החומר, ולא את המשטח שעליו הוא נמצא. שליטה טובה יותר בממדים של הפוטורזיסט ניתנת כשהטמפרטורה יציבה. תהליך הייצור נעשה באופן אחיד, כך שהעיוותים והחורים פוחתים.
היתרון הגדול הוא שהמערכת יכולה לעבוד 24/7 ללא הפסקות, והמעקב הטמפרטורתי מאפשר הארכת זמן השימוש במערכת.
כמה הערות לפני ההתקנה: יש לוודא שגודל התא מתאים, וכן לבדוק את רמת ההחזרה של האור משטח הוואפר – חומרים מחזירי אור או חוטי מתכת עלולים לשנות את כמות האנרגיה שנקלטת. יש להתאים את החיממן לחומרים ולתהליך הייצור. פרופילים אחידים לא יספיקו.
יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שההגדרות נכונות ושהאחידות נשמרת בכל המוצרים. לאחר הכיול, טווח הטמפרטורה נהיה צר יותר – וזו בדיוק הנקודה החשובה.