מנורת חימום בעלת רגישות לרמת האור

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5 מעלות צלזיוס בטמפרטורת החימום יכול לגרום לשינוי בעובי הקווים ברמה של ננומטרים – דבר שעלול להרוס שעות של עבודה. פיתחנו...