מנורת אפיית פוטורזיסט

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 1°C בטמפרטורת החימום יכול לפגוע לא רק בעובי הקווים שנוצרים, אלא גם בשליטה ברוחב הקווים, בזווית הדפנות ובאיכות המוצר...