http://industrial-heating-ir.com/he/tags/burn/ Recent content in Burn on Industrial IR Heating Solutions Hugo he Sat, 27 Jun 2026 05:08:44 +0800 http://industrial-heating-ir.com/he/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:08:44 +0800 http://industrial-heating-ir.com/he/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="בדיקת שריפת הוופר בעזרת מנורת חימום"></p> <p>בשטח הייצור, שינויים תרמיים במהלך תהליכי החימום או האפייה של החומרים הפוטורזיסטיביים ניכרים מהר מאוד – דבר שגורם לשינויים ברוחב הקווים ולירידה באיכות המוצר. אם נאפשר לתהליכי החימום להתנהג באופן לא יציב, נראה שאריות של חומרים לאחר תהליך החימום, והבעיות הטכניות ילכו ויגדלו. פיתחנו מערכת לחימום הוואפרים שמטרתה להסיר את השינויים האלו.</p> <p>הליבה של המערכת היא נורה הלוגן באור אינפרא-אדום בגלים קצרים, המונחת במעטפת של קוורץ. הנורה מאפשרת חימום מהיר וממוקד, עם זמן תגובה של פחות משנייה. באזור החימום, האחידות של טמפרטורת הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, כך שהחומר הפוטורזיסטיבי מקבל את אותה רמת חימום בכל פעם. בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, התהליך מתבצע ללא ייצור של חלקיקים, כך שהמסכות, העדשות ופני הוואפר נשארים נקיים.</p>