http://industrial-heating-ir.com/he/tags/process/ Recent content in Process on Industrial IR Heating Solutions Hugo he Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/he/posts/ashing-process-heating-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/he/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="תהליך האפרה חימום אינפרא אדום"></p> <p>על רצפת המפעל, אי אפשר להתייחס לתהליך ה־<a href="https://goldisgood.com">ashing</a> כאל &ldquo;קופסה שחורה&rdquo;. שאריות פוטורזיסט לאחר ההסרה יפגעו בתפוקה, ואם הפרופיל התרמי אינו יציב, ניתן &ldquo;לבשל&rdquo; כל אצווה שלמה. ashing תת-אדום עם חימום מהונדס מספק תקציב תרמי שחוזר על עצמו בכל פעם.</p> <p><strong>מה שחשוב, טכנית</strong><br> אנחנו פוגעים בפוטורזיסט ישירות עם פולטי קרינת אינפרא-אדום בגל קצר — חימום מהיר וממוקד שנכנס לרזיסט ולא למשטח הנשיאה. זה שומר על שליטה בקו ה-ashing ומאפשר אחידות ברמת הפרוסה בטווח של ±0.1°C. הכלי תוכנן לכיתת חדר נקי Class 1–100: הרכבה מאורגנת ואטומה עם פליטה נמוכה של מזהמים ונתיב תרמי שאינו מצטבר בו חלקיקים.</p>