300 मिमी लाइन पर, बेकिंग प्रक्रिया के दौरान आधे डिग्री से भी अधिक की त्रुटि स्वीकार्य नहीं है। फोटोरेजिस्ट को बेक करते समय 0.5°C की त्रुटि ही परिणामों को खराब करने के लिए पर्याप्त है। एक्सेलिस हीटर उपकरणों को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि वे प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित रखें – हर बार बेकिंग के दौरान।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे उपकरणों का उपयोग करते हैं जो शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटरों के साथ काम करते हैं, एवं एक्सेलिस बेकिंग चैंबरों के लिए उपयुक्त हैं। ऐसे उपकरण तेज़ गति से ऊष्मा प्रदान करते हैं, एवं प्रतिक्रिया समय भी कम होता है। वेफर पर तापमान की विषमता ±0.1°C तक ही रहती है; इससे सॉफ्ट बेकिंग एवं हार्ड बेकिंग दोनों प्रक्रियाओं में स्थिरता बनी रहती है। क्वार्ट्ज बॉडी एवं इंजीनियर्ड टर्मिनेशनों के कारण रेस्टरूम में भी उपकरणों का उपयोग संभव है; कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है। 5,000 घंटों से अधिक के उपयोग के बाद भी उपकरणों का प्रदर्शन स्थिर ही रहता है।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। ऐसे उपकरणों का उपयोग करने से बेकिंग प्रक्रिया सही तरीके से होती है, CD में विषमता कम हो जाती है, एवं तापमान संबंधी समस्याओं के कारण होने वाला नुकसान भी कम हो जाता है। तेज़ तापमान नियंत्रण से प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है, लेकिन प्रक्रिया का नियंत्रण बना रहता है।
ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि उपकरण केवल आवश्यकता के अनुसार ही गर्म होता है। विश्वसनीयता के कारण अप्रत्याशित रूप से उपकरण बंद नहीं होते, इससे उपकरणों का उपयोग निरंतर ही होता रहता है।
समस्याओं से बचने हेतु आवश्यक बातें:
उपकरण को ठीक उसी चैंबर मॉडल एवं वोल्टेज के अनुरूप ही उपयोग में लाएं। कनेक्टरों की स्थिति एवं दबाव की जाँच अवश्य करें – थोड़ी सी भी त्रुटि से ही उपकरण खराब हो सकता है।
उपकरणों को आपातकालीन स्थितियों में नहीं, बल्कि नियमित रूप से ही बदलें। इंस्टॉलेशन के बाद थोड़ी देर के लिए उपकरण को गर्म होने दें। बैच जारी करने से पहले उपकरण की जाँच अवश्य करें।