Mengapa sebaiknya Anda beralih dari penggunaan udara panas ke metode pemanasan inframerah untuk mengeringkan wafer
Jika Anda bekerja di bidang pembuatan komponen MEMS, pasti Anda tahu betapa menyebalkannya proses pengeringan wafer setelah proses etching atau pembersihan. Proses ini merupakan hambatan besar dalam proses produksi. Sebagian besar pabrik yang saya kunjungi masih menggunakan metode pemanasan udara panas. Meskipun ini merupakan cara yang sudah lama digunakan, tapi sejujurnya, cara ini sangat lambat.
Udara sama sekali tidak efektif untuk mentransfer panas. Anda harus menunggu cukup lama agar udara dapat menembus permukaan cairan sebelum pelarut mulai menguap. Hal ini tentu sangat mengganggu.
Proses yang lambat
Coba bayangkan bagaimana cara kerja oven konveksi. Anda perlu memanaskan seluruh ruang di dalam oven terlebih dahulu sebelum bisa memulai proses pengeringan. Prosesnya memang lambat.
Sebaliknya, metode pemanasan inframerah bekerja secara berbeda. Gelombang inframerah langsung menembus cairan dan mencapai permukaan wafer. Dengan demikian, proses pemanasan menjadi lebih cepat.
Saya telah melihat bahwa waktu yang diperlukan untuk mengeringkan wafer berkurang drastis, dari beberapa menit menjadi hanya beberapa detik saja, dengan menggunakan metode pemanasan inframerah. Bukan berarti panas yang dihasilkan lebih baik, tetapi energi tersebut sampai ke tempat yang dituju dengan cepat. Bagi mereka yang memiliki kapasitas produksi tinggi, hal ini berarti stasiun pengeringan menjadi lebih efisien, karena waktu yang dibutuhkan untuk mengeringkan wafer pun berkurang.
Kekurangan metode ini
Namun, metode ini juga memiliki kekurangan. Pemanas inframerah menghasilkan energi yang sangat tinggi dalam ruang yang kecil. Berbeda dengan kipas biasa, lampu inframerah menciptakan gradien suhu yang sangat tinggi.
Jika kontroler PID dan sensor Anda tidak disetel dengan tepat, Anda akan menghadapi masalah. Wafer bisa terlalu panas atau mengalami guncangan termal. Anda juga perlu memperhatikan jarak antara lampu dan wafer dengan seksama. Jika jaraknya tidak tepat, maka akan muncul “titik panas” yang dapat merusak wafer.
Menggunakan metode ini di pabrik Anda
Mengganti oven konveksi dengan sistem pemanasan inframerah sebenarnya merupakan proses yang cukup sederhana. Namun, jangan lupa untuk memperhatikan kabel-kabel penghubungnya.
Lampu inframerah membutuhkan arus listrik yang sangat besar, terutama pada saat awal pemakaian. Pastikan panel listrik Anda mampu menangani beban maksimum tersebut sebelum Anda menyalakan lampu tersebut.
Setelah masalah kelistrikan teratasi, keuntungan utamanya adalah ketiadaan suara bising. Tidak ada kipas, tidak ada saluran udara, dan tidak ada suara dengungan. Dengan demikian, risiko kerusakan pada komponen sensitif pun berkurang. Sangat efisien.