Suku cadang elemen pemanas Axcelis

Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800

Pada jalur produksi berukuran 300 mm, kita tidak bisa memberikan toleransi sebesar setengah derajat pada proses pemanasan bahan fotoresist tersebut. Perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan sudah cukup untuk menyebabkan perubahan dimensi yang kritis, sehingga seluruh produk menjadi tidak layak digunakan. Komponen pemanas Axcelis dirancang agar dapat menjaga kontrol suhu dalam batas yang ditentukan—setiap kali proses pemanasan dilakukan.

Apa yang penting di baliknya? Kami menentukan spesifikasi komponen pemanas ini sedemikian rupa agar sesuai dengan emitor halogen berfrekuensi tinggi yang digunakan dalam chamber pemanasan Axcelis. Komponen ini mampu menghasilkan panas secara cepat dan terarah, dengan waktu respons kurang dari satu detik. Konsistensi suhu di permukaan wafer tetap stabil, yaitu sekitar ±0,1°C, sehingga proses pemanasan dapat berjalan dengan baik. Badan komponen yang terbuat dari kuarsa serta desain terminalnya memungkinkan penggunaannya di lingkungan cleanroom kelas 1, dengan tingkat generasi partikel yang sangat rendah. Diharapkan hasil produksi tetap konsisten setelah 5.000 jam penggunaan, dengan penyimpangan suhu yang kurang dari 5%.

Axcelis on Industrial IR Heating Solutions

Suku cadang elemen pemanas Axcelis