Mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Se gestite un ambiente di classe 100, sapete bene quali siano le sfide. Anche una piccolissima traccia di polvere o un leggero rilascio di gas può rovinare completamente i vostri wafer di silicio. È un vero incubo. La maggior parte dei riscaldatori standard non è adatta per questi scopi: essi infatti emettono particelle o gas proprio nel momento in cui non se ne può assolutamente permettere l’insorgenza.
Ecco perché abbiamo scelto lampade a infrarossi in quarzo sintetico ad alta purezza per i riscaldatori utilizzati nei nostri impianti per semiconduttori.
Perché il quarzo?
I riscaldatori rivestiti di metallo presentano pori che permettono all’accumulo di polvere. Inoltre, possono far fuoriuscire ioni metallici direttamente nella zona di produzione. Il quarzo, invece, è diverso: si tratta di silice fusa, quindi rimane stabile anche quando la temperatura diventa estremamente elevata. Non si degrada né si frammenta. Inoltre, poiché utilizza radiazioni infrarosse, il calore viene trasferito direttamente al bersaglio. Non influisce sull’aria circostante, quindi il flusso laminare rimane esattamente dove dovrebbe essere.
Dettagli sui riscaldatori
Queste lampade sono progettate per diventare molto calde in tempi brevi. Abbiamo concentrato molta potenza in uno spazio ridotto, in modo che i wafer rimangano alla giusta temperatura durante il movimento. Possiamo regolare la potenza e la tensione in base alle esigenze specifiche dell’impianto. Tuttavia, bisogna tenere presente che queste lampade diventano davvero molto calde. Assicuratevi quindi che la struttura protettiva del riscaldatore sia adeguata, per evitare danni al dispositivo stesso.
Installazione
Abbiamo mantenuto i connettori standard: potete semplicemente inserire queste lampade nell’impianto esistente senza alcun problema. I sigilli sono anche molto robusti, quindi non c’è rischio di perdite di vuoto o di ingresso di particelle attraverso gli interstizi.
Un’unica regola importante: non toccate mai il quarzo con le mani nude. Sembra semplice, ma gli oli presenti sulla pelle lasciano segni invisibili. Questi segni creano punti caldi, e sono proprio questi punti caldi a causare il deterioramento prematuro delle lampade. Utilizzate sempre dei guanti.
È un compromesso vantaggioso: ottenete una purezza estrema e una risposta rapida, purché siate attenti durante l’installazione.