Lampada PVD (Deposizione Fisica da Vapore)

Fri, 05 Jun 2026 04:21:01 +0800

Sulla fabbrica

Nel piano della fabbrica, i fermi imprevisti non necessitano di un’autopsia: li vedi nei wafer persi e nelle finestre di specifica appena mancate. Quando una lampada della camera PVD si guasta, l’intero budget termico per il ciclo è in rosso. Abbiamo costruito questa lampada PVD per evitare che ciò accada, e funziona 24 ore su 24, 7 giorni su 7, senza compromessi.

Cosa conta, tecnicamente

Questa lampada offre una rapida risposta termica e una rigidità uniforme su tutto il bersaglio, mantenendo la temperatura entro ±0.1°C durante i passaggi critici di cottura. Il profilo dell’infrarosso a onda corta raggiunge rapidamente la temperatura, riducendo il ritardo termico e permettendoti di impostare i profili di cottura morbida e dura del fotoiniziale come necessario. Materiali compatibili con le camere bianche e una costruzione sigillata mantengono la generazione di particelle a zero, quindi può essere utilizzata comodamente in ambienti di Classe 1–100. Il design del filamento a lunga durata e l’involucro in quarzo resistente estendono gli intervalli di servizio fino a decine di migliaia di ore, con una deriva di output inferiore al 5% dopo 5,000 ore.

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