Elemento riscaldante di ricambio Axcelis

Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800

Nella linea da 300 mm, non si può permettere alcun margine di errore durante la fase di essiccazione del fotoreattivo: anche un’escursione di soli 0,5°C durante questo processo è sufficiente per alterare le dimensioni critiche dei componenti e rendere inutilizzabili tutti i prodotti finiti. Gli elementi riscaldanti Axcelis sono progettati per mantenere il controllo termico entro i limiti previsti dal processo, in ogni fase di lavorazione.

Cosa è davvero importante
Gli elementi riscaldanti vengono selezionati in modo da essere compatibili con i generatori di calore a onde corte utilizzati nelle camere di essiccazione Axcelis. Essi garantiscono un riscaldamento rapido e mirato, con tempi di risposta inferiori a un secondo. L’uniformità della temperatura sul piano del wafer rimane entro i limiti di ±0,1°C, il che permette di mantenere stabili i parametri di essiccazione. Il corpo in quarzo e le parti di connessione sono progettati per funzionare in ambienti con livello di pulizia elevato, con una produzione di particelle quasi nulla. Si possono ottenere risultati ripetibili anche dopo 5.000 ore di funzionamento, con una deviazione inferiore al 5%.

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Elemento riscaldante di ricambio Axcelis