Lampada asciugatrice a display flessibile fab

Mon, 01 Jun 2026 20:32:05 +0800

Sulla linea di display flessibili, la cottura del photoresist non è un passaggio secondario. È una soglia di resa.
Una variazione di 1°C nella soft bake o hard bake sposta la dimensione critica e porta con sé la formazione di scumming. La lampada di asciugatura non può essere un’altra variabile. Deve essere la costante termica.

Cosa conta realmente

Abbiamo sviluppato la lampada di asciugatura per display flessibili attorno a una distribuzione di calore ripetibile. Le sorgenti alogena emettono energia a onde corte sulla superficie, garantendo un’asciugatura rapida e guidata dalla superficie. Se si utilizzano film più spessi o stack termicamente sensibili, sono disponibili configurazioni a onde medie e NIR.
Si ottiene una uniformità a livello wafer di ±0,1°C nell’area attiva e un controllo del setpoint che rimane entro ±0,5°C anche in presenza di variazioni di tensione di linea. Il sistema è progettato per ambienti cleanroom Classe 1–100 senza generare particelle: involucri in quarzo sigillati, componenti a basso rilascio di gas e un percorso di flusso laminare che mantiene costante il conteggio particellare.
La potenza erogata si mantiene entro il 2% per oltre 5.000 ore di funzionamento. Il modulo lampada si integra direttamente con interfacce standard dei track, con controllo a 24 V e opzioni di connettori solidi.

Visualizzazione; Display on Industrial IR Heating Solutions

Lampada asciugatrice a display flessibile fab

Cosa conta realmente