http://industrial-heating-ir.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%82%AF%E3%82%BB%E3%83%AA%E3%82%B9/ Recent content in アクセリス on Industrial IR Heating Solutions Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/axcelis-heater-element-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="アクセリスのヒーター素子の交換部品"></p> <p>300mmラインでは、ベイク<a href="https://henruite.com">工程</a>においてわずか0.5度の余地も許されません。フォトレジストのベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が変わってしまい、結果として製品が廃棄されてしまいます。Axcelis社のヒーター素子は、プロセスの範囲内で熱をコントロールするように設計されています。つまり、どのようなベイク作業やシフトでも同じ<a href="https://o-yate.com">性能</a>を発揮します。</p> <p><strong>重要な点</strong> 私たちは、Axcelis社のベイクチェンバーに適した短波長ハロゲンエミッターを使用しています。これにより、数秒以内に迅速かつ<a href="https://o-yate.net">方向性</a>のある加熱が可能です。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内で維持され、そのおかげでソフトベイクやハードベイクのプロファイルも安定します。石英製の本体と特殊な端子構造により、クラス1のクリーンルーム環境でも問題なく使用でき、粒子の発生もほとんどありません。5,000時間以上使用しても、温度変動は5％未満に抑えられます。</p>