http://industrial-heating-ir.com/ja/tags/%E3%82%B0%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%9C%E3%83%83%E3%82%AF%E3%82%B9/ Recent content in グローブボックス on Industrial IR Heating Solutions Hugo ja Sat, 25 Jul 2026 05:03:32 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-engineering-for-glovebox-ir-heaters/ Sat, 25 Jul 2026 05:03:32 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-engineering-for-glovebox-ir-heaters/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="グローブボックス用赤外線ヒーター素子"></p> <h1 id="破片の発生を防ぐirヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法">破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法</h1> <p>大量の半導体を製造している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内の石英ランプが壊れてしまうのです。<br> 問題は単に停止時間が長くなることだけではありません。ガラスの破片や微粒子が直接ウェーハに降りかかってしまうのです。完全な災害です。<br> 私たちは、そんなことが起こらないように、特別に設計されたIR要素を使用しています。</p>