http://industrial-heating-ir.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%BC/ Recent content in コーター on Industrial IR Heating Solutions Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 12:32:32 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Wed, 03 Jun 2026 12:32:32 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="スピンコーター ベイクランプ"></p> <p>ライン上では、熱変動は抽象的な指標ではなく、不良が発生する原因そのものである。フォトレジストのソフトベイク中に2°Cの温度変化があれば、重要寸法制御がずれ、ウェーハ乾燥時の不十分な熱プロファイルはエッジビードや粒子汚染を招く。これらの不確定要素を排除するために、当社はスピンコーター用ベイクランプを設計した。</p>