http://industrial-heating-ir.com/ja/tags/%E6%9D%B1%E4%BA%AC/ Recent content in 東京 on Industrial IR Heating Solutions Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:16:30 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:16:30 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ"></p> <p>fabフロアではご存知の通り、ソフトベイクでわずか2度のズレが生じるだけで重要寸法が狂い、多量のスクラップが発生することがあります。ウェハ全体の温度均一性は「あったら良い」ものではなく、厳格な要件です。TELヒーターランプはリソグラフィセルに必要な熱制御をサイクル毎に提供します。</p>