要素 on Industrial IR Heating Solutions

グローブボックス用赤外線ヒーター素子

Sat, 25 Jul 2026 05:03:32 +0800

破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法

大量の半導体を製造している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内の石英ランプが壊れてしまうのです。
問題は単に停止時間が長くなることだけではありません。ガラスの破片や微粒子が直接ウェーハに降りかかってしまうのです。完全な災害です。
私たちは、そんなことが起こらないように、特別に設計されたIR要素を使用しています。

交換用ヒーター要素 IP65

Wed, 15 Jul 2026 10:09:09 +0800

なぜ、私たちはバスルーム用ヒーターを厳しい試験にかけるのか？
正直に言えば、バスルームという環境は電子機器にとって最悪の場所です。濃厚な蒸気や水しぶきが飛び散り、温度も激しく変動します。そんな環境では、温度計でさえも正確な測定ができないでしょう。
私たちは、IP65規格に準拠した赤外線素子を製造していますが、実際には、紙上の規格だけでは顧客のバスルームを乾燥した状態に保つことはできません。だからこそ、私たちは仕様数値だけを信頼するのではありません。すべての製品を湿熱老朽化試験にかけます。つまり、製品が倉庫を出る前に壊れないかを確認するのです。

アクセリスのヒーター素子の交換部品

Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800

300mmラインでは、ベイク工程においてわずか0.5度の余地も許されません。フォトレジストのベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が変わってしまい、結果として製品が廃棄されてしまいます。Axcelis社のヒーター素子は、プロセスの範囲内で熱をコントロールするように設計されています。つまり、どのようなベイク作業やシフトでも同じ性能を発揮します。

重要な点 私たちは、Axcelis社のベイクチェンバーに適した短波長ハロゲンエミッターを使用しています。これにより、数秒以内に迅速かつ方向性のある加熱が可能です。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内で維持され、そのおかげでソフトベイクやハードベイクのプロファイルも安定します。石英製の本体と特殊な端子構造により、クラス1のクリーンルーム環境でも問題なく使用でき、粒子の発生もほとんどありません。5,000時間以上使用しても、温度変動は5％未満に抑えられます。