http://industrial-heating-ir.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial IR Heating Solutions Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 16:25:18 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 16:25:18 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>なぜ、ホットエアを使ったウェーハ乾燥ではなく、IR乾燥を使うべきか<br> MEMSの製造に従事している方なら、湿式エッチングや洗浄処理の後にウェーハを乾燥させるのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは本当に大きなボトルネックです。私が訪れた工場のほとんどでは、依然としてホットエアを使っています。これは「昔から使われてきた信頼性の高い方法」ですが、正直、効率が悪いのです。<br> 空気は熱を伝えるのが非常に苦手です。溶剤が蒸発し始める前に、空気が液体の表面張力を打ち破るのを待つだけで、時間が莫大にかかってしまいます。本当にイライラします。</p>