http://industrial-heating-ir.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Industrial IR Heating Solutions Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:42:53 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/reducing-chamber-wall-heat-in-wafer-tools-via-directional-infrared-heating/ Fri, 24 Jul 2026 11:42:53 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ja/posts/reducing-chamber-wall-heat-in-wafer-tools-via-directional-infrared-heating/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ加工装置用温度センサー"></p> <h1 id="機械の壁を加熱するのはやめましょう">機械の壁を加熱するのはやめましょう</h1> <p>ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が行き渡ってしまいます。ウェーハ処理装置では、これは問題です。エネルギーの<a href="https://o-yate.com">大部分</a>がウェーハに当たる代わりに、機器の内壁に集中してしまいます。<br> これは電力の無駄遣いです。さらに悪いことに、機械の外側が非常に高温になり、人が火傷する可能性もあります。<br> だからこそ、方向性のある加熱方式を利用するのです。</p>