http://industrial-heating-ir.com/ko/tags/%EB%B2%A0%EC%9D%B4%ED%82%B9/ Recent content in 베이킹 on Industrial IR Heating Solutions Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="포토레지스트 굽는 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생겨도, 단순히 라인의 너비에만 영향을 미치는 것이 아닙니다. 이로 인해 CD 제어가 어려워지고, 측벽의 각도도 변하며, 최종 제품의 품질도 저하됩니다. 베이크 램프는 클린룸 내에서 온도를 일정하게 유지하는 중요한 역할을 합니다.</p>