http://industrial-heating-ir.com/ko/tags/%EC%97%AC%EB%B6%84%EC%9D%98-%EC%98%88%EB%B9%84%EC%9D%98/ Recent content in 여분의; 예비의 on Industrial IR Heating Solutions Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/axcelis-heater-element-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="액셀리스 히터 소자 예비 부품"></p> <p>300mm 생산 라인에서는 베이킹 과정에서 단 0.5도라는 미세한 온도 변동도 허용되지 않습니다. 포토레지스트를 베이킹할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. <a href="https://o-yate.com">Axcelis</a>의 히터 부품들은 공정 상의 온도를 항상 일정하게 유지하도록 설계되어 있습니다.</p>