http://industrial-heating-ir.com/ko/tags/%EC%97%B4/ Recent content in 열 on Industrial IR Heating Solutions Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 07:22:50 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Mon, 29 Jun 2026 07:22:50 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼 IR용 고정밀 가열"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열하는 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 파라미터들이 나노미터 단위로 변할 수 있다는 것을 빠르게 알게 됩니다. 웨이퍼를 가열할 때는 반복 가능한 일정한 열 프로필을 유지해야 하며, 공정 중에 이물질이 발생하거나 가동 시간이 줄어드는 일이 있어서는 안 됩니다.</p>