http://industrial-heating-ir.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial IR Heating Solutions Hugo ko Sun, 19 Jul 2026 16:25:22 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 16:25:22 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>왜 핫에어 대신 적외선을 이용한 웨이퍼 건조 방식을 사용해야 하는가?<br> MEMS 제조 업무를 하고 있다면, 습식 에칭이나 세척 과정 후에 웨이퍼를 건조시키는 데 드는 시간의 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 이는 분명한 병목 현상입니다. 제가 방문한 대부분의 공장들도 여전히 핫에어를 사용하고 있습니다. 이는 ‘오래된 전통적인 방법’이지만, 솔직히 말해서 효율이 매우 낮습니다.</p>