Di lantai pembuatan, pengerasan polyimide bukan sekadar satu langkah sahaja—ia adalah tuil kepada hasil pengeluaran. Jika suhu terpesong sebanyak 1.5°C, ia akan mengubah tekanan, menyebabkan wafers melengkung, dan membazirkan jam kerja litografi. Kami membina platform terma untuk memastikan profil pembakaran kekal dalam julat yang ditetapkan, dari satu kitaran ke kitaran berikutnya.
Apa yang penting, secara teknikal
Kami mengekalkan uniformiti pada tahap wafer ±0.1°C merentasi keseluruhan julat pengerasan, menggunakan inframerah gelombang pendek dengan kawalan spektrum ketat untuk menyerlahkan penyerapan polyimide. Zon panas dikekalkan daripada kuarza dan seramik tulen tinggi—dipilih kerana bahan ini mengekalkan suhu tanpa menambah pengeluaran gas. Keserasian bilik bersih Kelas 1–100 bukan perkara tambahan: bahan rendah zarah, sambungan tertutup, dan laluan aliran laminar positif telah dimasukkan ke dalam reka bentuk. Sistem mengulangi setiap pembakaran dengan bajet terma yang didokumentasi, boleh dijejak kepada had SPC, jadi soft bake dan hard bake hanya boleh digantikan jika data menyokongnya.
Perkara utama: pengerasan polyimide memerlukan haba yang stabil tanpa kawasan panas. Kami menyediakan kestabilan itu 24/7, dan dalam operasi berbilang syif, kami merekodkan sifar masa henti tidak dirancang. Ketepatan pembakaran fotoresist mengikuti secara semula jadi—kawalan bead tepi kekal ketat, kehilangan CD berkurang, dan kerja pembaikan berkurangan. Penggunaan tenaga juga berkurang: peningkatan suhu pantas ke titik tetapan memendekkan masa bertahan tanpa mengorbankan ketumpatan silang.
Hasilnya adalah peningkatan hasil dengan kurang gangguan, dan talian pengerasan yang berfungsi seperti pembolehubah proses tetap.
Apa yang perlu anda tahu dari awal
Pemasangan memerlukan sistem ekzos khusus dan bekalan kuasa bersih yang disahkan—kadar kenaikan suhu hanya boleh dicapai apabila bekalan adalah bersih dan berpenyambung bumi. Rancang untuk menjalankan ujian pengesahan singkat bagi mengunci resipi bagi lapisan polyimide khusus anda. Setelah ditetapkan, proses ini boleh diulang, tetapi kelayakan awal tidak boleh diabaikan.