http://industrial-heating-ir.com/ms/tags/axcelis/ Recent content in Axcelis on Industrial IR Heating Solutions Hugo ms Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ms/posts/axcelis-heater-element-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ms/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Komponen pemanas ganti untuk Axcelis"></p> <p>Pada garis 300mm, kita tidak boleh memberikan ruang perubahan suhu sebanyak setengah darjah Celsius semasa proses pembakaran fotoresist. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C sudah cukup untuk mengganggu dimensi kritikal bahan tersebut, sehingga menyebabkan keseluruhan produk menjadi tidak berguna. Komponen pemanas Axcelis direka untuk mengekalkan kawalan suhu dalam lingkungan yang ditetapkan, setiap kali proses pembakaran berlaku.</p> <p><strong>Apa yang penting di baliknya</strong><br> Kami memilih komponen pemanas yang sesuai dengan sumber haba jenis halogen berfrekuensi rendah, yang digunakan bersama-sama dengan bilik pembakaran Axcelis. Komponen ini mampu menghasilkan haba secara cepat dan terarah, dengan masa tindak balas kurang dari satu saat. Kestabilan suhu pada permukaan wafer adalah ±0.1°C, sehingga memastikan proses pembakaran berjalan dengan lancar. Badan komponen yang diperbuat daripada kuarsa serta reka bentuk khususnya memastikan ia sesuai digunakan dalam persekitaran makmal <a href="https://henruite.com">bertaraf</a> tinggi, dengan tahap penghasilan zarah hampir sifar. Anda boleh menjangkakan hasil yang konsisten walaupun setelah 5,000 jam penggunaan, dengan variasi suhu kurang dari 5%.</p>