http://industrial-heating-ir.com/ms/tags/membakar/ Recent content in Membakar on Industrial IR Heating Solutions Hugo ms Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ms/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ms/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Lampu untuk memanaskan bahan photoresist"></p> <p>Di bilik litografi, perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran boleh menjejaskan ketebalan garisan yang dihasilkan. Ia juga boleh mengganggu kawalan parameter CD, menyebabkan perubahan pada sudut dinding sisi, dan seterusnya mempengaruhi kualiti produk yang dihasilkan. Lampu pembakaran ini berfungsi sebagai alat untuk mengawal suhu di dalam bilik bersih.</p> <p>Apa yang penting dari segi teknikalnya ialah lampu pembakaran tersebut mampu memastikan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C. Ini dicapai dengan menggunakan sumber inframerah gelombang pendek bersama-sama dengan sistem pemanasan berasaskan kuarsa. Kekonsistenan suhu dapat dikekalkan sepanjang proses pembakaran, daripada suhu rendah hingga suhu tinggi, tanpa berlaku penyimpangan.</p>