Stop met het opwarmen van uw apparatuur in plaats van de wafer zelf.
In een halfgeleiderfabriek is het opwarmen van de verkeerde onderdelen niet alleen inefficiënt, maar ook gevaarlijk.
Als u standaard stralingsverwarmers gebruikt, weet u hoe lastig dat kan zijn. De hitte verspreidt zich overal. Vroeg of laat nemen de binnenwanden van uw dure apparatuur al die energie op. Hierdoor wordt het apparaat te heet, en dan moeten de operators omgaan met veiligheidsrisico’s die ze normaal gesproken niet zouden hoeven te vrezen.
Wij lossen dit op door richtingsgebonden infrarode lampen te gebruiken.
De logica is vrij simpel:
De meeste lampen stralen hitte uit in een cirkel van 360 graden. In een kleine fabriek ruïneert deze verspilde energie eigenlijk de behuizing van het apparaat. Onze infrarode lampen werken anders: we gebruiken speciale reflectoren en golflengtestellingen om de warmte in één bepaalde richting te sturen. Hierdoor bereikt de hitte de wafer of het substraat. De wanden van het apparaat worden hiervan niet beïnvloed.
Er is echter een nadeel:
Het goede nieuws is dat u veel meer hitte kunt genereren precies waar u die nodig hebt, zonder dat de rest van de ruimte te heet wordt. Het is dus een veel veiligere manier van werken.
Maar er is wel een belangrijk punt waar u rekening mee moet houden: u moet ervoor zorgen dat de lamp goed georiënteerd is. Omdat de energie zo geconcentreerd is, kan een klein foutje in de positie van de lamp leiden tot problemen. Als de lamp verschuift, kan dit schade toebrengen aan het materiaal. De bevestigingsmechanismen moeten dus zeer stevig zijn. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter verschuift, verandert het thermische profiel van het apparaat.
Hoe dit in de praktijk werkt:
Voor de meeste apparaten is het gemakkelijk om deze lampen te vervangen. We letten goed op de thermische effecten. We willen voorkomen dat de lamp de bedrading beschadigt tijdens het gebruik.
Als u geen energie meer verspilt, gebeuren er een paar dingen: uw elektriciteitsrekening daalt, de buitenkant van het apparaat blijft koel aan de touch, en misschien het beste van alles: u hoeft geen gebruik meer te maken van grote, lawaaiige koelingssystemen of dure hittebescherming om het apparaat koel te houden.