Op de productievloer zie je niet altijd dat er problemen ontstaan. Een klein verschil in de thermische uniformiteit tijdens het drogen zorgt er namelijk voor dat de energieverbruik en het aantal afvalproducten toenemen. Tijdens het zacht drogen en het drogen na het reinigen is het belangrijk om een zeer hoge stabiliteit te hebben. Hitteplekken, zelfs kleine, leiden tot defecten in het product. Onefficiënt verwarmen verspilt energie en maakt het voor de schoonruimtes moeilijker om hun werk goed uit te voeren.
Wat echt belangrijk is We gebruiken korte-golf-infraroodemitters voor het drogen. Hierdoor hebben we controle op het thermische veld tot op het niveau van submillimeters. Het systeem houdt de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. De herhaalbaarheid is zo hoog dat de cruciale parameters consistent blijven tussen verschillende batches. De respons is snel, zodat de temperatuur binnenSeconden op het gewenste niveau komt. Er is ook een systeem voor energiemonitoring: het energieverbruik per batch, de duur van het proces en de temperatuurschommelingen worden geregistreerd. Dit maakt het gemakkelijk om de energieverbruik te analyseren.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie en het drogen In de lithografie en het drogen na het reinigen is het belangrijk dat het drogen geen deeltjes veroorzaakt of spanning op het materiaal uitoefent. Het infraroodlicht zorgt ervoor dat de fotolak binnen de vereiste specificaties blijft. Ook wordt het aantal deeltjes verminderd en wordt de Cycle-tijd verkort. Het energieverbruik neemt af doordat er minder warmte wordt geproduceerd, de piekbelasting wordt verminderd en de levensduur van de emitters langer wordt – vaak meer dan 5.000 uur met stabiel rendement. Dit resulteert in minder herwerkingswerk, betrouwbare productie en een energianalyse die echte besparingen laat zien, zonder dat de procescontrole wordt belemmerd.
Wat je echt goed moet regelen Het is belangrijk om de emitter goed af te stemmen op het substraat en het materiaal van de chuck. Reflecterende componenten en de juiste montageafstand zorgen voor de benodigde uniformiteit. Verwacht dat er wat aanpassingen nodig zijn bij een retrofit. Controleer ook of de schoonruimte voldoet aan de eisen van klasse 1–100. Plan regelmatige kalibraties van de sensoren om de uniformiteit op peil te houden.