http://industrial-heating-ir.com/nl/tags/axcelis/ Recent content in Axcelis on Industrial IR Heating Solutions Hugo nl Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/nl/posts/axcelis-heater-element-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800 http://industrial-heating-ir.com/nl/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Axcelis verwarmdelektrode reserve"></p> <p>Op de 300mm-lijn kan er geen extra ruimte van een halve graad worden gegeven aan de verhittingstijd. Een afwijking van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist is al voldoende om de cruciale dimensies te beïnvloeden en daardoor het hele productieproces te verstoren. De reserveonderdelen voor de verwarmingselementen van Axcelis zijn zo ontworpen dat de thermische controle binnen de gewenste grenzen blijft – bij elke verhittingscyclus, elke dienst.</p> <p><strong>Wat belangrijk is onder de motorkap</strong><br> Wij kiezen voor elementen die worden gebruikt in korte-golflange halogeenstralers die compatibel zijn met de verhittingskamers van Axcelis. Deze elementen zorgen voor snel en gericht warmteafgifte, met een responstijd van minder dan een seconde. De uniformiteit van de temperatuur op het waferoppervlak blijft binnen ±0,1°C, waardoor zowel de zachte als de harde verhittingsprocessen stabiel blijven. Het kwartslichaam en de speciaal ontworpen aansluitingen zijn geschikt voor gebruik in een schone omgeving (klasse 1), waarbij de hoeveelheid deeltjes tot bijna nul wordt gehouden. Na 5.000+ uur gebruik kan nog steeds een betrouwbare prestatie worden verwacht, met een afwijking van minder dan 5%.</p>