Fotoresistentverhittingslamp
Op de lithografieafdeling heeft een verschil van 1°C bij het verhitten van het fotoreistent niet alleen invloed op de breedte van de lijnen. Het...
Spincoater baklamp
Out on the line is thermische variatie geen abstracte grootheid. Het is een defect dat op zoek is naar een plek om op te treden. Een afwijking van...