http://industrial-heating-ir.com/nl/tags/fotorezerve/ Recent content in Fotorezerve on Industrial IR Heating Solutions Hugo nl Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/nl/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/nl/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Fotoresistentverhittingslamp"></p> <p>Op de lithografieafdeling heeft een verschil van 1°C bij het verhitten van het fotoreistent niet alleen invloed op de breedte van de lijnen. Het beïnvloedt ook de controle over de CD-waarde, de hoek van de zijkanten en uiteindelijk ook de productiekwaliteit. De verhittingslampen zijn dus de ‘stille bewakers’ van de thermische controle in de schone ruimte.</p> <p>Wat technisch gezien belangrijk is: we gebruiken verhittingslampen die een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van het wafer bereiken. Dit wordt bereikt door het combineren van kortegolflengte-infraroodbronnen met een kwartsbasisvolledig systeem voor thermische controle. De nauwkeurigheid van de temperatuurregeling blijft constant, zowel bij lage als hoge temperaturen. Er is geen sprake van overdreven temperatuurstijgingen.</p>