http://industrial-heating-ir.com/nl/tags/proces/ Recent content in Proces on Industrial IR Heating Solutions Hugo nl Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/nl/posts/ashing-process-heating-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/nl/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Verwarmingsproces asafzetting infrarood"></p> <p>Op de fabrieksvloer kun je ashing niet als een black box behandelen. Resten van photoresist na het strippingproces verminderen je opbrengst, en als het thermische profiel niet stabiel is, kun je een hele batch verpesten. Infrarood ashing met gecontroleerde verwarming levert <a href="https://o-yate.net">telkens</a> een reproduceerbaar thermisch budget op.</p> <p><strong>Wat technisch van belang is</strong><br> We bestralen het photoresist direct met kortgolvige infrarood emitters—snelle, gekoppelde warmte die in de resist gaat, niet in de drager. Zo blijft het ashingfront beheersbaar en wordt de uniformiteit op wafer-niveau gehouden binnen ±0,1°C. De machine is ontworpen voor Cleanroom Class 1–100: een afgesloten, laag-uitgassend samenstel en een thermisch pad dat deeltjesvrij blijft.</p>