Flexibele display drooglamp fabriekslijn

Mon, 01 Jun 2026 20:32:05 +0800

Op de flexibele displaylijn is het bakken van de photoresist geen achtergrondproces. Het is een opbrengstpoort.
Een afwijking van 1°C in soft bake of hard bake verschuift de kritische dimensie en veroorzaakt scumming als bijeffect. De drooglamp mag geen extra variabele zijn. Het moet de thermische constante zijn.

Wat er werkelijk toe doet

We hebben de drooglamp voor flexibele displays ontworpen rondom herhaalbare warmteafgifte. Halogeenbronnen zenden kortegolfenergie uit naar het oppervlak, waardoor snelle, oppervlakgestuurde droging plaatsvindt. Voor dikkere lagen of thermisch gevoelige stapels zijn er medium-wave en NIR-configuraties beschikbaar.
Verwacht ±0,1°C uniformiteit op wafer-niveau over de actieve zone, met een setpointregeling die binnen ±0,5°C blijft, zelfs bij schommelingen in de lijnspanning. Het systeem werkt in Class 1–100 cleanrooms zonder deeltjes te verplaatsen: afgesloten kwartsomhulsels, armaturen met lage uitstoot, en een laminaire luchtstroom die het aantal deeltjes constant houdt.
De output blijft binnen 2% over meer dan 5.000 uren. Het lampmodule past direct in standaard trackinterfaces, met 24 V aansturing en degelijke connectoropties.

Weergeven on Industrial IR Heating Solutions

Flexibele display drooglamp fabriekslijn

Wat er werkelijk toe doet