http://industrial-heating-ir.com/pt/tags/fotorevestido/ Recent content in Fotorevestido on Industrial IR Heating Solutions Hugo pt Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/pt/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/pt/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Lâmpada de secagem de fotorresistente"></p> <p>No processo de litografia, uma variação de 1°C no tempo de secagem do fotoresist não afeta apenas a largura das linhas desenhadas na superfície dos waferes. Isso também prejudica o controle da espessura do filme formado, altera o ângulo das <a href="https://goldisgood.com">paredes</a> laterais e afeta a qualidade final dos produtos. As lâmpadas de secagem são, portanto, essenciais para manter a disciplina térmica dentro da sala limpa.</p> <p>O que é importante tecnicamente é a capacidade dessas lâmpadas de manter uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C nos waferes. Isso é possível graças ao uso de fontes de infravermelho de onda curta, combinadas com um sistema térmico baseado em quartzo. A repetibilidade dos parâmetros de temperatura permanece alta, desde ciclos de secagem em baixas temperaturas até ciclos em <a href="https://henruite.com">altas</a> temperaturas, sem que haja desvios excessivos.</p>