На производственной площадке не всегда можно заранее предвидеть возникающие проблемы. Небольшие отклонения в однородности температуры во время сушки приводят к увеличению расхода энергии и количества бракованных изделий. При мягкой сушке и сушке после чистки необходима стабильность температуры на уровне долей градуса. Места с повышенной температурой, даже незначительные, приводят к появлению дефектов на поверхности изделий. Некачественное нагревание лишь тратит энергию и усложняет работу в чистой комнате.
Что имеет значение внутри системы
Для сушки мы используем инфракрасные излучатели коротких волн, что позволяет контролировать температурный режим с точностью до долей миллиметра. Система обеспечивает однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности wafer. Повторяемость результатов достаточно высока, что позволяет сохранять стабильные условия сушки при производстве разных партий изделий. Время прибытия температуры до заданного значения минимально — всего несколько секунд. Также имеется функция контроля за расходом энергии: фиксируется количество киловатт-часов, время работы и колебания температуры. Это делает аудит энергопотребления простым и удобным для анализа.
Почему это важно в литографии и сушке
В литографии и сушке после чистки необходимо, чтобы процесс сушки не вызывал движения частиц или напряжения на поверхности пленки. Инфракрасное излучение помогает поддерживать параметры фоторезиста в пределах допустимых значений как в процессе мягкой, так и жесткой сушки. Это также снижает количество частиц и сокращает время сушки. Расход энергии снижается за счет уменьшения периода бездействия оборудования, снижения пиковой нагрузки и увеличения срока службы излучателей — обычно более 5 000 часов при стабильной работе. В результате снижается количество бракованных изделий, повышается производительность, а аудит энергопотребления показывает реальную экономию без ущерба для контроля над процессом.
Что действительно важно учитывать
Важно правильно подобрать излучатель под материал подложки и чекана. Поверхности с высокой отражательной способностью и правильное расстояние между излучателем и поверхностью подложки способствуют поддержанию однородности температуры. Ожидайте необходимости небольшой перенастройки оборудования при модернизации. Также необходимо учитывать требования чистой комнаты по классификации 1–100. Необходимо также регулярно калибровать датчики, чтобы сохранять стабильность температуры в пределах ±0,1°C.