Почему стоит отказаться от использования горячего воздуха для сушки пластин
Если вы работаете в области производства MEMS-устройств, то знаете, как трудно сушить пластины после процедур химической обработки или очистки. Это настоящее препятствие в производственном процессе. В большинстве предприятий, которые я посещаю, до сих пор используется метод сушки с помощью горячего воздуха. Это «старый добрый» способ, но, честно говоря, он крайне медленный.
Воздух плохо передает тепло. Приходится тратить много времени на ожидание, пока воздух преодолеет поверхностное натяжение жидкости, прежде чем раствор начнет испаряться. Это очень раздражает.
Проблема времени
Подумайте о работе конвекционной печи: необходимо сначала нагреть всю комнату, прежде чем можно начать процесс сушки. Этот процесс занимает много времени.
Инфракрасное нагревание работает иначе. Вместо нагревания воздуха инфракрасные волны проходят сквозь жидкость и попадают непосредственно на поверхность пластины. Таким образом устраняется необходимость в посреднике.
Я видел, как время сушки сокращается с нескольких минут до нескольких секунд при использовании инфракрасных ламп. Дело не в том, что тепло «лучше», а в том, что энергия доходит туда, куда нужно, мгновенно. Для производства больших объемов продукции это означает, что установка для сушки занимает меньше места, а процесс сушки происходит гораздо быстрее.
Недостатки
Конечно, это не волшебство. Инфракрасные нагреватели требуют большого количества энергии. В отличие от обычных вентиляторов, инфракрасные лампы создают сильную тепловую разницу. Если контроллеры и датчики не настроены правильно, может возникнуть перегрев краев пластины или термический удар. Также необходимо точно контролировать расстояние между лампой и пластиной. Несколько миллиметров ошибки — и появляются «горячие точки», которые могут испортить продукцию.
Установка
Замена конвекционной печи на инфракрасную установку обычно представляет собой простую физическую замену внутри камеры. Но не забывайте также о проводах. Инфракрасные лампы потребляют много энергии, особенно в начальный момент работы. Убедитесь, что ваша электросеть может выдерживать пиковую нагрузку перед тем, как включить устройство.
Как только все настроено, самое приятное — это отсутствие шума. Нет вентиляторов, нет шума от работающих устройств. Меньше движущихся частей означает меньше поломок и значительно меньше вибраций рядом с чувствительными датчиками. Просто чище.