Лампа для запекания при использовании спин котера

Wed, 03 Jun 2026 12:32:32 +0800

Out on the line, thermal variance isn’t some abstract metric. It’s a defect looking for a place to happen. A 2°C drift during photoresist soft bake can throw off critical dimension control, and a sloppy heat profile during wafer drying is an open invitation to edge bead and particle contamination. We built our spin coater bake lamps to kill that uncertainty.

Что важно под капотом

Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного спектра в кварцевом корпусе лампы с системой замкнутого температурного контура, который поддерживает равномерность температуры на уровне ±0.1°C по всей поверхности вращения подложки. Время отклика — менее одной секунды, поэтому при изменении уставки лампа сразу же подстраивается, сохраняя тепловой бюджет без отклонений. Совместимость с чистыми помещениями не является дополнительной функцией, она предусмотрена конструктивно для условий класса 1–100. Конструкция сборки исключает генерацию частиц во время работы, а низкий уровень газовыделения предотвращает попадание загрязнений в технологическую камеру.

Вращение on Industrial IR Heating Solutions

Лампа для запекания при использовании спин котера