Лампочка on Industrial IR Heating Solutions

Инфракрасная лампа с золотым отражателем

Mon, 27 Jul 2026 09:13:13 +0800

Как выбрать правильную температуру: почему золотые отражатели действительно важны
При обработке полупроводников в производственных цехах недостаточно просто достичь «приблизительно нужной» температуры. Необходимо, чтобы температура была именно такой, какая требуется. Большинство людей используют стандартные нагревательные элементы, но у них есть один недостаток — они рассеивают тепло во все стороны. Это все равно что пытаться нагреть комнату с открытым окном.

Вот почему мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением и золотыми отражателями. Это гораздо эффективнее.

Секрет заключается в золоте.
Если подумать о стандартных алюминиевых отражателях, то они вполне приемлемы, но они поглощают значительную часть инфракрасной энергии. Золото же отражает около 98% этой энергии обратно на пластину. Это колоссальная разница. Тепло попадает именно туда, куда нужно, время нагрева сокращается, а температурный профиль остается стабильным. Не нужно больше делать предположения.

Дешевая лампочка для сушки вафель

Mon, 08 Jun 2026 05:17:18 +0800

На производственной площадке дрейф температуры сушки пластин быстро проявляется — сразу же в профиле фоторезиста. Его видно как повышение температуры (T-topping) после проявления и как отклонение контроля ширины линии после травления. Мы разработали недорогую лампу для сушки, чтобы исключить тепловой дрейф из уравнения.

Технические особенности
Эта лампа использует коротковолновое инфракрасное излучение для быстрого, локализованного нагрева с откликом менее секунды. Она ориентирована на этапы мягкой и твердой сушки (soft bake и hard bake), обеспечивая повторяемость установленной температуры в пределах ±0,1°C по всей поверхности пластины. Это сохраняет однородность критических размеров без превышения теплового бюджета фоторезиста.
Нить накала и кварцевый корпус рассчитаны на использование в чистых помещениях класса 1–100, и было подтверждено отсутствие генерации частиц с помощью встроенного мониторинга. Мощность излучения остаётся стабильной более 5 000 часов с падением интенсивности менее 5%.