http://industrial-heating-ir.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Industrial IR Heating Solutions Hugo ru Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для высушивания фоторезиста"></p> <p>На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в пределах 1°C при процедуре просушки фотополимера существенно влияет на ширину линий на пластине. Это также нарушает контроль над коэффициентом размытия изображения, изменяет угол наклона боковых стенок пластины и снижает качество готовой продукции. Лампы для просушки являются своего рода «полицейскими», контролирующими температурный режим в чистой комнате.</p> <p>С технической точки зрения важно то, что лампы для просушки обеспечивают стабильность температуры на уровне ±0,1°C за счет использования источников кратковолнового инфракрасного излучения в сочетании с кварцевыми элементами для регулировки температуры. Стабильность температуры сохраняется на всем диапазоне температур – от низких температур при мягкой просушке до высоких температур при жесткой просушке. При этом не происходит превышения заданных значений температуры.</p>