Запасная часть нагревательного элемента Axcelis

Wed, 01 Jul 2026 13:08:21 +0800

На линиях производства с длиной волны 300 мм нельзя допускать даже полуградусного отклонения температуры во время процедуры прокаливания фотопрезиста. Отклонение температуры на 0,5°C уже достаточно, чтобы нарушить критические параметры производства и привести к порче всей партии изделий. Запасные части нагревателей Axcelis разрабатываются таким образом, чтобы сохранять температурный режим в пределах допустимых значений – во время каждого цикла прокаливания и в течение всего рабочего дня.

Что имеет значение при работе устройства
Мы используем нагреватели с коротковолновыми галогеновыми излучателями, соответствующие характеристикам камер Axcelis. Эти нагреватели обеспечивают быстрое и направленное нагревание с временем реакции менее секунды. Равномерность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C, что способствует стабильности процесса прокаливания. Кварцевый корпус и специально разработанные элементы подключения позволяют использовать устройство в условиях чистой комнаты класса 1; уровень образования частиц при этом остается на минимальном уровне. Можно ожидать стабильной работы устройства в течение 5 000+ часов, при отклонении температуры менее 5%.

Axcelis on Industrial IR Heating Solutions

Запасная часть нагревательного элемента Axcelis