วีเฟอร์ on Industrial IR Heating Solutions

ความร้อนที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการใช้กับเวเฟอร์ในระบบ IR

Mon, 29 Jun 2026 07:22:50 +0800

ในโรงงานผลิตชิป คุณจะได้เรียนรู้อย่างรวดเร็วว่า การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในขั้นตอนการอบฟอโตรีซิสต์เพียง 0.5°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ค่าขนาดสำคัญของชิปเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร ดังนั้น ระบบการให้ความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดจึงต้องสามารถสร้างอุณหภูมิที่สม่ำเสมอได้ในแต่ละรอบการผลิต โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคสิ่งสกปรกในกระบวนการผลิต และไม่ทำให้เวลาการผลิตลดลง

สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้โมดูลการให้ความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดที่มีหัวฉายรังสีแบบฮาโลเจน พร้อมระบบควบคุมแบบไฮดรอลิก ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของวงแหวนชิปอยู่ในช่วง ±0.1°C การตอบสนองของระบบอยู่ในระดับไม่กี่วินาที ทำให้อุณหภูมิคงที่ และค่าขนาดสำคัญของชิปก็จะคงที่เช่นกัน โมดูลนี้เหมาะสำหรับใช้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 เนื่องจากใช้วัสดุที่ปล่อยก๊าซน้อย และมีการออกแบบมาเพื่อลดการเกิดอนุภาคสิ่งสกปรก กำลังไฟฟ้าที่ใช้ยังคงคงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงของกำลังไฟฟ้าน้อยกว่า 5%

เหตุใดจึงมีความสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี ในกระบวนการลิโทกราฟี สิ่งสำคัญคือการควบคุมอุณหภูมิ การอบด้วยอุณหภูมิต่ำหรือสูงจะช่วยให้ถึงอุณหภูมิเป้าหมายได้เร็วขึ้น และคงอุณหภูมินั้นไว้ได้นานขึ้น ทำให้ความหนาของฟอโตรีซิสต์ ความสม่ำเสมอของขอบชิป และค่าขนาดสำคัญของชิปมีความแม่นยำมากขึ้น สิ่งนี้ช่วยให้ได้ชิปที่มีคุณภาพสูง ลดการต้องทำชิปใหม่ และลดขยะที่เกิดขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เนื่องจากระบบจะให้ความร้อนตามความต้องการ และสามารถทำให้ชิปเย็นลงได้อย่างรวดเร็ว โมดูลนี้สามารถนำมาใช้กับอุปกรณ์ผลิตชิปทั่วไปได้ โดยเป็นไปตามมาตรฐานการเชื่อมต่อและการควบคุมระดับสากล

สิ่งที่คุณต้องวางแผนไว้ การติดตั้งโมดูลนี้ต้องคำนึงถึงขนาดทางกลและอินเทอร์เฟซทางไฟฟ้าของอุปกรณ์ด้วย ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าประเภทของตัวเชื่อมต่อ แรงดันไฟฟ้า และความเข้ากันได้ของน้ำยาทำความเย็นนั้นเหมาะสมกับอุปกรณ์ของคุณ คาดว่าจะต้องมีการทดสอบระบบสักระยะเพื่อปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมกับชิปของคุณ กำลังไฟฟ้าที่ใช้จะถูกกำหนดให้เหมาะสมกับขั้นตอนการอบ ดังนั้นจึงไม่สามารถใช้กำลังไฟฟ้าสูงมากได้ ควรวางแผนโดยคำนึงถึงข้อจำกัดนี้ไว้ด้วย แล้วโมดูลนี้ก็จะสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง พร้อมกับการบำรุงรักษาเป็นประจำ

เครื่องทำความร้อนแบบ Wafer level CSP (Chip Scale Package)

Thu, 18 Jun 2026 04:34:37 +0800

ในโรงงานผลิต ความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิไม่ใช่สิ่งที่สามารถยอมรับได้ เพราะมันจะส่งผลเสียต่อกระบวนการผลิต หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปแม้เพียงเล็กน้อย ก็จะส่งผลต่อคุณภาพของฟิล์มที่ใช้ในการผลิต และหากกระบวนการอบแห้งไม่สม่ำเสมอ ก็จะทำให้เกิดปัญหาเรื่องการบิดเบี้ยวของวัสดุ ดังนั้น การผลิตในระดับวัตถุดิบจะได้ผลดีก็ต่อเมื่อสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยอุณหภูมิจะต้องอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ตลอดเวลา

สิ่งที่สำคัญคือการควบคุมอุณหภูมิให้แม่นยำ เราได้ออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับการผลิตในระดับวัตถุดิบ โดยใช้แหล่งกำเนิดคลื่นวิทยุความยาวคลื่นสั้นที่เหมาะสมกับการดูดซับพลังงานโดยฟิล์มและวัสดุอื่นๆ พลังงานจะเข้าสู่ฟิล์มโดยตรง ทำให้ไม่มีความร้อนส่งผ่านไปยังวัสดุพื้นฐาน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่ใช้ในการผลิตอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิอยู่ในช่วง 0.2°C ตลอด 24 ชั่วโมง

เครื่องจักรนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดภัยระดับ Class 1–100 และถูกออกแบบมาให้ไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้น โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย หน้าต่างที่ทำจากควอตซ์ และระบบลมที่ช่วยป้องกันไม่ให้มีสิ่งสกปรกเข้ามาในกระบวนการผลิต กระบวนการอบแห้งต่างๆ สามารถทำได้ด้วยเครื่องทำความร้อนเดียวกัน โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม

เหตุผลที่วิธีนี้มีประสิทธิภาพในการผลิตก็คือ ช่วยให้กระบวนการผลิตเสร็จเร็วขึ้น เพราะไม่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิมากเกินไป นอกจากนี้ ยังช่วยลดการใช้พลังงาน เพราะเราเพียงแค่ทำความร้อนให้ฟิล์มเท่านั้น การควบคุมขนาดของฟิล์มก็จะดีขึ้น เมื่ออุณหภูมิมีความเสถียร และกระบวนการอบแห้งก็จะสม่ำเสมอ ทำให้ไม่มีปัญหาเรื่องการบิดเบี้ยวของวัสดุ

สิ่งที่ควรคำนึงก่อนเริ่มการใช้งานก็คือ การติดตั้งเครื่องจักรต้องเหมาะสมกับขนาดของห้องปฏิบัติการ และต้องตรวจสอบค่าการสะท้อนของพื้นผิววัตถุดิบด้วย เพราะวัสดุที่มีคุณสมบัติสะท้อนแสงหรือวัสดุโลหะจะส่งผลต่อปริมาณพลังงานที่ถูกดูดซับ นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนก็ต้องถูกปรับให้เหมาะสมกับฟิล์มและสูตรการผลิตด้วย การใช้โปรไฟล์ที่เหมาะสมกับทุกกรณีนั้นไม่สามารถทำได้

ควรมีการทดลองใช้งานเพื่อตรวจสอบค่าอุณหภูมิที่เหมาะสม และตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ หลังจากปรับแต่งเสร็จแล้ว กระบวนการผลิตก็จะมีความแม่นยำมากขึ้น และนั่นคือสิ่งที่สำคัญที่สุด