Ekipmanlarınızı ısıtmaktan vazgeçin; yerine wafere ısı uygulayın.
Bir yarı iletken üretim tesisinde, yanlış nesnelerin ısıtılması sadece verimsiz değil, aynı zamanda ciddi bir risktir. Eğer standart radyant ısıtıcılar kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar sorunlu olduğunu biliyorsunuzdur. Isı her yöne dağılır ve pahalı ekipmanların iç duvarları bu enerjiyi emer. Böylece ekipmanın gövdesi aşırı ısınır ve operatörlerin endişelenmesi gereken güvenlik riskleri ortaya çıkar.
Biz bu sorunu yönlendirilebilir kızılötesi ışık lambaları kullanarak çözüyoruz.
Mantık oldukça basit: Çoğu lamba ısıyı 360 derecelik bir alan içinde yayar. Dar bir üretim alanında bu boşa harcanan enerji, ekipmanın gövdesini adeta devasa bir ısı emici haline getirir. Bizim kızılötesi lambalarımız ise farklıdır. Belirli yansıtıcılar ve dalga boyu ayarlamaları sayesinde bu ısı enerjisi kontrol altına alınır. Böylece ısı doğrudan wafere veya substrata ulaşır. Duvarlar ise bu süreçten etkilenmez.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Enerjinin çok yoğun olması nedeniyle, lambanın konumundaki küçük bir hata bile sıcak noktanın yer değiştirmesine neden olabilir. Eğer bu durum gerçekleşirse, malzemeler zarar görebilir. Montaj aparatlarının son derece sağlam olması gerekir. Lamba birkaç milimetre bile hareket ederse, ısı dağılımı bozulur.
Üretim alanına entegrasyon: Çoğu kurutma istasyonunda bu lambaların yerine monte edilmesi oldukça kolaydır. Enerji dağılımını dikkatlice inceleyerek, lambanın kabloları yanmasını engellemeye çalışıyoruz. Isıyı boşa harcamadığınızda bazı avantajlar elde edersiniz: Elektrik faturanız düşer, ekipmanın yüzeyi dokunulduğunda serin kalır. Belki de en iyi yanı, makinenin erimesini önlemek için devasa ve gürültülü soğutma fanlarına veya pahalı ısı koruma sistemlerine ihtiyaç duymamanızdır.