Vakumlu IR ile zorlanmış hava: Hangisi gerçekten işe yarar?
Eğer şu an yarı iletken üretimi için bir vakum odası seçmeye çalışıyorsanız, aslında enerjinin nasıl aktarılacağı konusunda bir seçim yapmak zorundasınız.
Birçok kişi sıcak hava dolaşımı fikriyle başlar. Ancak sorun şu ki: Zorlanmış hava yöntemi konveksiyona dayanır. Peki ya vakumda? Orada konveksiyon işlevini göremez. Hareket ettirecek hava yoksa, ısıyı taşımak da mümkün değildir. İşte bu noktada IR ısıtma devreye girer. Vakuma karşı mücadele etmek yerine, elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan waferin üzerine yönlendirir.
Beklemenin gizli maliyeti
Sıcak hava yönteminde, parçanız hedef sıcaklığa ulaşana kadar tüm odanın ısınmasını beklemek zorundasınız. Bu oldukça uzun bir süreçtir.
IR ısıtıcılar ise farklıdır. Sadece birkaç saniye içinde istenen sıcaklığa ulaşırlar. Derin işlemler yaparken ve sıcaklıkları hızla değiştirmeniz gerektiğinde bu zaman farkı çok önemlidir. Boş alanları ısıtmak için harcanan dakikaları boşa harcamazsınız ve doğrudan işlemlere başlayabilirsiniz.
Zemin alanından tasarruf etme
Fiziksel açıdan da avantajları vardır. IR lambalar sayesinde daha küçük alanlarda kullanım mümkün olur. Genellikle vakum odalarını kirleten büyük fanlar ve karmaşık borulara gerek kalmaz.
Genellikle bunları diziler halinde kullanırız. Böylece ısı wafer üzerine eşit şekilde dağılır ve yüzeye ne kadar ısı geldiği konusunda daha fazla kontrol sağlanır.
Eksiklikler (çünkü her zaman bir eksiklik vardır)
Yüksek yoğunluklu IR ısıtıcılar da mucizevir çözümler değildir. Güçlü oldukları doğru, ancak bu gücün bir yere gitmesi gerekiyor. Eğer su soğutma sistemlerini doğru şekilde ayarlamazsanız, bu radyasyon odanın duvarlarına nüfuz edecektir. Bu durumda geometrinin bozulması veya sensörlerin zarar görmesi söz konusu olur. Bu bir denge meselesidir. Havanın yavaşlığından kurtulursunuz, ancak ısıyı nasıl yöneteceğiniz konusunda daha dikkatli olmanız gerekir.
Daha yüksek verim elde etmek isteyenler için IR ısıtıcılar genellikle en iyi çözümdür. Böylece engeller ortadan kalkar. Havanın ısınmasını beklemek yerine doğrudan silisyum üzerinde işlemlere başlayabilirsiniz.