Üretim alanında termal dalgalanmalar bir tolerans değil, kesinlikle kabul edilemeyecek bir durumdur. Hatta sadece bir derece kadar bile bir sapma olursa, fotoresist profilinde bozulmalar meydana gelir. Eğer CSP yığını düzgün şekilde kurumazsa, bu da malzemenin bükülmesine ve verimliliğin düşmesine neden olur. Wafer seviyesindeki CSP sistemleri ancak termal kontrolün tekrarlanabilir olduğu durumlarda işe yarar; her adımda sıcaklık değerleri mikro dereceler içinde olmalıdır.
İşte burada önemli olan noktalar:
Wafer seviyesindeki CSP kızılötesi ısıtıcılar, fotoresist ve polimer dielektriklerin gerçekten ne kadar enerjiyi emdiğine göre ayarlanmış kısa dalga boylu NIR vericilerle donatılmıştır. Enerji hızla filmin içine girer ve substrata çok az ısı yayılır. Aktif bölgede wafer seviyesindeki düzenlilik ±0,1°C civarında olur ve 24 saat boyunca bu düzenlilik 0,2°C civarında kalır.
Bu platform, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve hiçbir parçacık üretmemesi için özel olarak geliştirilmiştir: Düşük gaz salınımı yapan malzemeler, mühürlü kuvars pencereler ve kirliliğin proses alanına girmesini engelleyen laminar hava akış sistemi kullanılır. Hem yumuşak hem de sert ısıtma işlemleri aynı ısıtıcı ile gerçekleştirilir; aralarında herhangi bir yeniden kalibrasyona gerek yoktur.
Bu sistemin üretimdeki avantajları şunlardır:
Hızlı ısınma sayesinde döngü süresi kısalar. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü ısıtma işlemi sadece filme uygulanır, taşıyıcıya değil. Sıcaklık stabilitesi sayesinde fotoresistin boyut kontrolü daha hassas hale gelir. CSP yığınları düzgün şekilde kuruduğundan, malzemenin bükülmesi ve boşluklar azalır.
Sistem 24/7 çalışır ve planlanmayan arızalar olmaz. Önleyici termal izleme sayesinde bakım aralıkları uzar.
Karar vermeden önce dikkat edilmesi gereken bazı noktalar:
Montaj sırasında odanın boyutlarına uyum sağlanmalı ve wafer yüzeyinin emisyon değerleri kontrol edilmelidir. Yansıtıcı elemanlar veya metal izleri, emilen enerji miktarını değiştirebilir. Isıtıcının film yığınına ve işlem prosedürlerine uygun şekilde ayarlanması gerekir. Her ürün için aynı ayarlar yeterli değildir.
Ayarlama işlemlerinden sonra ürün grupları arasındaki düzenlilikleri kontrol etmek için kısa bir entegrasyon testi yapılmalıdır. Kalibrasyondan sonra proses penceresi daralır ve bu tahmin edilebilir bir durumdur. İşte bu tahmin edilebilirlik tam da önemli olan noktadır.