http://industrial-heating-ir.com/tr/tags/f%C4%B1r%C4%B1nlama/ Recent content in Fırınlama on Industrial IR Heating Solutions Hugo tr Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/tr/posts/photoresist-baking-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:30:19 +0800 http://industrial-heating-ir.com/tr/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Fotorezist pişirme lambası"></p> <p>Litografi bölümünde, yumuşak pişirme veya sert pişirme işlemlerinde meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik, sadece çizgi genişliğini etkilemekle kalmaz; aynı zamanda CD kontrolünü bozar, yan duvarların açısını değiştirir ve ürün kalitesini olumsuz etkiler. Pişirme lambaları, temiz oda ortamında termal denetimi sağlayan araçlardır.</p> <p>Teknik açıdan önemli olan ş<a href="https://henruite.com">eyler</a> şunlardır: Kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynakları ile kuvars tabanlı ısıtıcılar bir araya getirilerek, wafer seviyesinde ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlanır. Düşük sıcaklıkta yapılan yumuşak pişirme işlemlerinden yüksek sıcaklıkta yapılan sert pişirme işlemlerine kadar tüm aralıklarda ayarların tekrarlanabilirliği yüksektir ve herhangi bir aşırı ısı artışı olmaz.</p>