http://industrial-heating-ir.com/uk/tags/%D1%82%D0%B5%D0%BF%D0%BB%D0%BE/ Recent content in Тепло on Industrial IR Heating Solutions Hugo uk Mon, 29 Jun 2026 07:22:51 +0800 http://industrial-heating-ir.com/uk/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Mon, 29 Jun 2026 07:22:51 +0800 http://industrial-heating-ir.com/uk/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Високоточне нагрівання для ІЧ процесів з використанням пластинок"></p> <p>На виробничій лінії швидко розумієш, що навіть зміна температури нагрівання фоторезисту на 0,5°C може призвести до зміни критичного розміру на кілька нанометрів. Процес нагрівання пластини за допомогою ІЧ-системи мусить забезпечувати стабільні теплові параметри з кожною процедурою, без утворення частинок чи зниження продуктивності обладнання.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми використовуємо модулі нагрівання з короткочастотними галогеновими емітерами та системою контролю з замкнутим контуром. Це дозволяє підтримувати однорідність температури на поверхні пластини на рівні ±0,1°C протягом усього процесу нагрівання. Час реакції системи становить менше секунди, тож теплові параметри залишаються стабільними. Конструкція модуля підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, а також конструкція, яка запобігає утворенню частинок. Сила випромінювання залишається стабільною протягом понад 5 000 годин, з допуском зміни не більше 5%.</p>