http://industrial-heating-ir.com/uk/tags/burn/ Recent content in Burn on Industrial IR Heating Solutions Hugo uk Sat, 27 Jun 2026 05:08:44 +0800 http://industrial-heating-ir.com/uk/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:08:44 +0800 http://industrial-heating-ir.com/uk/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Тестування на пошкодження ваферів за допомогою нагрівальної лампи"></p> <p>На поверхні пластини швидко проявляються температурні коливання під час процедури нагрівання або випалювання фотолаку – це призводить до зміни ширини ліній та зниження якості продукції. Якщо допустити відхилення параметрів нагрівання, то після процедури етчінгу залишаться залишки речовин, що призведе до проблем у роботі обладнання. Ми створили систему нагріву пластин, яка дозволяє усунути ці відхилення.</p> <p>Серцем цієї системи є галогенна лампа короткохвильового інфрачервоного світла, розташована в кварцовому корпусі. Вона забезпечує швидке та локалізоване нагрівання з часом реакції менше секунди. У всій зоні нагрівання однорідність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, тож фотолак отримує однаковий температурний режим на кожному етапі обробки. У чистих приміщеннях класу 1–100 процес обробки відбувається без утворення частинок, що забезпечує чистоту поверхні маски, лінз та самої пластини.</p>