فیکٹریوں میں کاربن کے اخراج کو کم کرنے کے لئے: یو ایچ پی انفراریڈ لیمپس کیوں مؤثر ہیں؟
اگر آپ کوئی سیمی-فابریکیشن پلانٹ چلاتے ہیں، تو آپ جانتے ہیں کہ کاربن کے اخراج کو کم کرنے کے لئے دباؤ بہت زیادہ ہے۔ یہ صرف ایک کارپوریٹ ہدف نہیں، بلکہ یہ ایک بہت بڑا توانائی سے متعلق مسئلہ ہے۔ اس فضلے کا ایک بڑا حصہ تو تھرمل پروسیسنگ کے عمل میں ہی پوشیدہ رہتا ہے۔
برسوں سے ہم ریزسٹیو ہیٹنگ سسٹم کا استعمال کرتے رہے ہیں۔ مسئلہ یہ ہے کہ اس طریقے سے پورے چیمبر کی دیواروں کو گرم کرنا پڑتا ہے، تاکہ ویفر کو مناسب درجہ حرارت تک پہنچایا جاسکے۔ یہ تو گویا اپنے گھر کے تمام ہیٹروں کو چلانے جیسا ہے، صرف ایک پیزا کو گرم کرنے کے لئے۔
اسی لئے ہم نے یو ایچ پی انفراریڈ لیمپس کا استعمال شروع کیا۔ ان لیمپس کے ذریعہ فضا اور دیواروں کو گرم کرنے کے بجائے، ویفر کو براہ راست گرم کیا جاتا ہے۔
یہی اصل راز ہے۔
یہ لیمپس شارٹ-ویو انفراریڈ تابکاری کا استعمال کرتے ہیں۔ جبکہ کنویکشن سسٹم سست ہوتا ہے، اور گیسوں کی نقل و حرکت پر منحصر ہوتا ہے، یہ لیمپس فوٹونز کو براہ راست ویفر کی سطح پر بھیجتے ہیں۔
ہم ان لیمپس کو اعلیٰ پاور ڈینسٹی کے لئے ڈیزائن کرتے ہیں، جس کی وجہ سے ویفر کو درجہ حرارت تک پہنچانے میں وقت بہت کم لگتا ہے۔ جب آپ طویل وقت تک اعلیٰ درجہ حرارت پر کام نہیں کرتے، تو ہر ویفر کے لئے خرچ ہونے والی توانائی کم ہو جاتی ہے۔ یہ زمین کے لئے بھی فائدہ مند ہے، اور بجلی کے بل کے لحاظ سے بھی۔
لیکن آپ کسی بھی لیمپ کو وہاں استعمال نہیں کر سکتے۔
یو ایچ پی ماحول میں “آؤٹ گیسنگ” ایک بڑی مشکل ہے۔ ایک چھوٹی سی غیرخالصی بھی پورے بیچ کو بیکار کر سکتی ہے۔ ہم بہت کم ہائڈروکسیل (OH) موجودگی والے سنتھیٹک فیوژڈ سیلیکا کوارٹز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ دھاتی غیرخالصیاں سلیکون میں داخل نہ ہو سکیں۔
ہم ان لیمپس کو سب-پی پی بی سطح تک صاف کرتے ہیں۔ اگر آپ معمولی بچت کے لئے عام صنعتی لیمپس کا استعمال کریں، تو آپ کی پیداواری صلاحیت ختم ہو جائے گی۔
لیکن ایک مشکل بھی ہے۔
چونکہ یہ لیمپس بہت زیادہ توانائی پیدا کرتے ہیں، اس لئے آپ کو زیادہ ٹھنڈک کی ضرورت ہوتی ہے۔ آپ کو یقین کرنا ہوگا کہ آپ کے کولنگ سسٹم ان لیمپس کی وجہ سے پیدا ہونے والی زیادہ حرارت کو سنبھال سکیں۔
خوشخبری یہ ہے کہ ہم نے ان لیمپس کو اپنے موجودہ CVD یا اینیلنگ ٹولز کے متبادل کے طور پر ڈیزائن کیا ہے۔ آپ کو کچھ بھی توڑنے کی ضرورت نہیں ہے۔
اس طریقے سے، آپ پوری فیکٹری کی توانائی کی کھپت کو کم کر سکتے ہیں۔ یہ ایک آسان طریقہ ہے، جس سے آپ سبزی کی جانب بڑھ سکتے ہیں، بغیر اپنی پیداواری صلاحیت کو کم کیے۔